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重庆市集成电路协同创新中心专利技术
重庆市集成电路协同创新中心共有1项专利
一种栅极内嵌通孔实现电位自适应P-shield的SiC MOSFET器件制造技术
本发明涉及一种栅极内嵌通孔实现电位自适应P‑shield的SiC MOSFET器件,属于半导体技术领域。本发明通过在栅极内部嵌入包含P+区和P‑ch区的多功能通孔,取代传统通过栅极一侧周期性通孔进行接地的方式,实现了P‑shield电位...
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