本技术公开一种团簇离子聚焦整形装置，包括管道和喷嘴，所述管道的一端设有喷嘴，且所述管道内另一端设有相互平行的偏转板一，所述偏转板一远离喷嘴一侧的管道内设有相互平行的偏转板二，且所述偏转板二另一侧的管道内设有相互平行的偏转板三，且所述偏转...

本技术公开了一种团簇离子束抛光装置，包括抛光装置主体、工作台、团簇离子喷嘴和工件主体，所述抛光装置主体内部的底端设置有底板，且所述底板的顶部设置有工作台，所述工作台的顶部放置有工件主体，所述工作台上方的抛光装置主体内设置有第一丝杆，且所...

本技术公开了一种团簇离子喷嘴，包括喷嘴外壳、气体输入通道、团簇离子生成腔和喷嘴头部，所述喷嘴外壳内部的顶端设置有气体输入通道，且所述气体输入通道下方的喷嘴外壳内设置有团簇离子生成腔，所述团簇离子生成腔内部的中央位置处设置有分流板，且所述...