本发明公开了基于对抗学习的半导体制造工业互联网平台，涉及半导体制造技术领域，包括生产层、销售层和售后层，所述生产层包括晶圆加工模块、氧化加工模块、光刻加工模块、刻蚀加工模块、薄膜沉积模块和互联加工模块，所述销售层包括网络销售模块、线下销...

本发明公开了一种联邦学习的动态分区混合博弈建模的优化方法，包括获取设备工序并基于混合博弈进行动态分区建模；根据动态分析模型基于无悔学习进行能力建模；根据能力模型基于安全防御进行能力演化建模；根据能力演化模型基于非凸问题转凸问题构建系统最...

本发明公开了一种半导体制造工业的全视角视觉检测方法及装置，包括：获取半导体产品的高维图像数据集；对高维图像数据集进行降维处理生成低维图像数据集；对低维图像数据集进行稀疏主成分分析生成主成分图像数据集；将主成分图像数据集与预设的目标数据集...

本发明公开了一种基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法，包括：对小样本失效数据进行处理，所述处理包括数据清洗与特征提取，数据集成与变换；建立基于确定分布、大样本、多源信息的可靠性评估模型，根据可靠性评估模型进行数据可靠性评估；基于时效...

本发明公开了一种基于博弈对抗的半导体制造优化方法，涉及半导体制造技术领域，包括以下步骤，在半导体制造的过程中需要用到一些生产原料，研发人员可以根据生产出来的半导体的质量不断尝试采用新的原料进行代替，以得到质量更好的半导体，原料挑选后，生...