本发明公开涉及薄膜弱吸收测量方法、系统及装置，该方法包括：确定目标样品薄膜、目标反射镜开关、目标第一反射镜、目标透镜、目标第二反射镜和目标隔热箱；关闭目标反射镜开关，以使激光器发射出的激光被第一目标反射镜反射，再通过第二目标反射镜反射后...

本发明公开了一种实时测量薄膜应力的方法及装置，属于光学薄膜的检测领域，包括悬臂梁玻璃，悬臂梁玻璃一端固定，悬臂梁玻璃与光源和线性

本实用新型公开了一种实时测量薄膜应力的装置及镀膜机，属于光学薄膜的检测领域，包括悬臂梁玻璃和控制器，悬臂梁玻璃一端固定，悬臂梁玻璃配套光源和线性CCD使用，光源发出的光经过悬臂梁玻璃反射后，能照射到线性CCD上。本实用新型的有益效果是：...