本发明涉及基于深度学习混合模型的MPCVD金刚石表面缺陷识别方法，包括以下步骤，S1，采集MPCVD柱形腔中金刚石生长的实时图像，将实时图像进行预处理；S2，对预处理后的实时图像进行数据标注，定义缺陷图像与正常图像，形成数据集，再对数据...