本技术公开了一种采用微波等离子沉积的偏置电压样品台，属于金刚石制备技术领域，该种采用微波等离子沉积的偏置电压样品台，包括微波等离子体化学气相沉积设备反应腔室、水冷沉积台、偏压电极升降台、石英圆筒和钨制环形偏压电极，所述微波等离子体化学气...

本发明公开一种大尺寸金刚石基氮化镓晶圆的制备方法，属于半导体材料技术领域。它包括将氮化镓晶片分立放置在金刚石沉积托盘的凹槽内进行金刚石沉积，并创造性的设计了在氮化镓表面的金刚石形核过程，保证了金刚石晶核在氮化镓晶圆表面稳定有序生长，为后...