本技术涉及硅片加工设备领域，尤其是硅片清洗机。该清洗机包括超声清洗机、机架、转动马达、直线驱动装置、硅片装载框和鼓风机，所述超声清洗机上固定连接有机架，机架的横梁上固定连接有转动马达和鼓风机，转动马达的转轴上固定连接有直线驱动装置，直线...