本发明提供了一种晶圆级多端口射频探针卡及测试方法，涉及半导体晶圆级测试与探针卡技术领域，用于对晶圆上多端口射频器件并行测试，包括PCB板，布设有多条射频传输线，PCB板嵌设在支撑框架内，通过环氧树脂结构胶与支撑框架固定连接形成刚性复合体...

一种用于抑制FBAR谐振器和滤波器中的寄生信号或模式的机制，结合了电磁(EM)腔谐振物理场模型的效应。通过修改FBAR谐振器的EM腔谐振的特性来实现寄生信号的抑制。这是通过保持谐振器的基本压电谐振频率恒定并将EM腔谐振移动到较低频率来实...

本申请提供了一种耦合表面体声波CS‑BAW谐振器及其制造方法，其中谐振器器件包括：具有第一表面和第二表面的承载衬底；布置在所述承载衬底第一表面上的声速层；具有第一表面和第二表面的薄膜压电层，其中叉指换能器IDT金属结构布置在所述薄膜压电...

本申请提供了一种薄膜表面声波(SAW)射频滤波器器件，包括：具有第一面和第二面的薄膜压电层；设置于所述薄膜压电层第一面的叉指换能器(IDT)金属结构；具有第一面和第二面的支撑晶圆；在所述支撑晶圆第一面形成的声速层堆叠结构，其配置包括：形...