本发明包括：第一混合单元，被同时供应超纯水与高浓缩化学物质并且所述超纯水与高浓缩化学物质混合而生成第一混合物质；第一输送线，连接到所述第一混合单元而使得所述第一混合物质被输送；第二混合单元，形成于所述第一输送线上并且再度混合所述第一混合...