一种用于数字光刻系统的光强不均匀性测量与校正方法，属于光学技术领域，是利用积分球对CCD相机标定，将DMD物面分为N×N的矩形区域阵列，进而得到每一个矩形区域的光强分布，得到像面的整体光强分布图及DMD面上的整体光强分布，完成光强不均匀...

一种对于数字微镜阵列的硬件故障和数据传输异常的检测方法，属于光学技术领域，将DMD分为若干区域，将全白图像输入至DMD，利用CCD采集对应的输出图像矩阵，将输出图像矩阵与输入图像矩阵对比，得到整个DMD的黑点以及不稳定点的位置，将全黑图...