部鲁尔科学公司专利技术

部鲁尔科学公司共有9项专利

  • 本发明涉及改进的通孔和接触孔的填充组合物以及该组合物在电路的双金属镶嵌制备过程的使用方法。广泛地说,该填充组合物包含一定量包括聚合物粘合剂的固态组分和固态组分用的溶剂物系。溶剂物系的沸点低于组合物的交联温度。用于该溶剂物系的优选溶剂包括...
  • 公开了抗反射组合物,它由纤维素粘合剂和烷基化氨基塑料交联剂制得,所述氨基塑料交联剂得自蜜胺、脲、苯胍胺或甘脲。这些组合物用来形成抗反射底层,当用于多层光致抗蚀剂工艺时具有高度的等离子蚀刻选择性。
  • 提供了新颖聚合物、包含这些聚合物的组合物、以及使用这些组合物的方法。这些聚合物包含苯乙烯和马来酸酐单元,并有至少一些马来酸酐单元具有特定的官能团连结于其上。较佳的官能团包括得自增粘剂(例如,2-氨基苯酚)、光引发剂(例如,4-氨基苯乙酮...
  • 一种用于平版印刷法期间衰减光的减反射组合物,所述组合物包含多个溶解或分散在溶剂体系中的组分,其改进在于所述减反射组合物中至少约95%的所述组分的分子量小于约5,000g/摩尔组分。
  • 一种用于改良的STN和TFT像素显示应用于超薄薄膜厚度(≤1.0微米)具有高电阻系数(≥10↑[11]欧姆/平方)、高光学密度(≥2.0)的有机黑色基质,可藉由组合1∶15到3∶15的染料对颜料的重量/重量比的聚酰亚胺/染料溶液和混合金...
  • 提供了一种改善的用于生产微型器件的减光化合物。概括地说,这种减光化合物是非芳族的,可直接(用物理方法或化学方法)掺入光刻组合物如底部抗反射涂料(BARC)和电触点或通孔填充材料。本发明的优选非芳族化合物是共轭的脂族和脂环族化合物,它大大...
  • 一种用于可流动的粘性物质(52)的分配器(10)包括用于物质(52)的容器(50),该容器带有呈现出与容器(50)相连的输出端(82)的、细长的、由合成树脂所制成的可变形的输出管(80)。包括管接合件(84,132,150,158)和致...
  • 提供了一种用作高折射率层的新颖组合物。该组合物包含分散或溶解于溶剂体系中的聚酰亚胺。该聚酰亚胺可由商品可得的二酸酐和二胺制得。优选的聚合物包含选自式(Ⅰ)和(Ⅱ)的重复单体。本发明的组合物可形成牢固的薄膜,而且具有高折射率,使它们可用于...
  • 提供用于集成电路制造工艺的改进减反射涂料组合物以及形成这些组合物的方法。通常,通过在酸性条件下加热溶液,使化合物聚合形成平均分子量至少约1000道尔顿的聚合物来形成组合物,所述溶液包括包含特殊化合物(例如烷氧基烷基蜜胺、烷氧基烷基苯胍胺...
1