本发明公开了一种半导体用运输装置，具体包括运输轨道、运输支架、驱动电机、驱动轮及半导体载具；运输支架两端的支撑侧板分别安装有限位轮组件，限位轮组件能于运输轨道上滚动，驱动动机安装于运输轨道的外环面的一侧，并与运输轨道位于同一水平面，且驱...