一种真空机械手由真空腔体，变形盘及指状夹持杆组成，变形盘密封地固定在真空腔端面；夹持杆固定地安装在变形盘边缘。当抽真空时，变形盘在大气压作用下产生向内变形，这使固连在变形盘边缘上的指状夹持杆也向中心倾斜，使指状夹持杆端头凹槽或环形浅槽间...