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比翼半导体工业股份有限公司专利技术
比翼半导体工业股份有限公司共有1项专利
具有动平衡装置的五杆机构和用于使五杆机构动平衡的方法制造方法及图纸
本发明涉及用于操作对象,更特别地用于操作电子部件的装置,包括杆机构(1,20,40,50,60,80),两个独立的致动器(4,5,23,24,43,81)和用于补偿动态反作用力和/或反作用力矩的平衡机构(53,54,63-66,86)。...
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