本发明公开了一种晶圆测试装置及方法，属于晶圆测试领域。一种晶圆测试装置，包括底座、吸附设备以及探针台，还包括：测试平台，设置在吸附设备上，测试平台上设置有吸附盘，吸附盘与吸附设备相连通，测试平台上设置有定位机构，用于将晶圆移动至吸附盘的...