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北京芯粒集成科技有限公司专利技术
北京芯粒集成科技有限公司共有1项专利
一种封装晶圆的微凸点结构、制备方法及封装晶圆组合结构技术
本发明属于封装晶圆技术领域,具体涉及一种封装晶圆的微凸点结构、制备方法及封装晶圆组合结构。微凸点结构包括从下至上依次设置在封装晶圆上的种子层、微凸点导电柱、镍阻挡层、微凸点铜层、焊料凸点;封装晶圆的无机介质层设置于承载晶圆的上表面,在无...
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