本发明公开一种梳齿电容式加速度计，涉及微机械加速度计技术领域，包括衬底和加速度计结构，加速度计结构设置于衬底上；加速度计结构包括固支框架、敏感质量块框架和非可动电极组件，非可动电极组件通过电极锚点固定于衬底上，敏感质量块框架上设置有可动...

本发明涉及双轴陀螺仪，具体是一种单质量的双轴陀螺仪，两个轴陀螺仪均为双解耦结构，均为水平轴陀螺仪。本发明解决了现有双轴陀螺仪结构复杂、良率低、机械耦合大、轴间串扰大等问题。一种单质量双解耦的双轴硅微陀螺仪，包括玻璃基底、玻璃盖帽、驱动模...

本发明涉及一种微机械音叉陀螺，包括衬底、在衬底上固定陀螺可动结构的锚点、驱动框架、惯性质量块、敏感框架、连接驱动框架和惯性质量块的弹性梁、连接惯性质量块与敏感框架的弹性梁、连接敏感框架与锚点的弹性梁、连接驱动框架与锚点的弹性梁、连接驱动...

本发明涉及三轴加速度计，具体是一种单质量、全对称的三轴硅微加速度计。本发明解决了现有三轴加速度计结构复杂、良率低、轴间串扰大的问题。一种单质量全对称三轴硅微加速度计，包括玻璃基底、玻璃盖帽、质量块、四根三自由度弹性梁、四个锚块、X轴检测...

本发明涉及一种电容式微机械加速度计，它包括衬底、固支框架结构、敏感质量块框架结构、在衬底上固定固支框架结构的锚点、在衬底上固定加速度计敏感质量块框架结构的锚点、连接固支框架结构与敏感质量块框架结构的单自由度弹性梁、连接敏感质量块框架结构...

本发明的目的是用于加快微机电陀螺零偏稳定时间的方法，该方法通过对陀螺的正交误差进行主动抑制，同时配合陀螺谐振频率信息对零位输出进行补偿，将影响陀螺上电后热漂移的主要影响参数进行有效抑制，可以显著加快微机电陀螺的零偏稳定时间。

本实用新型针对真空回流焊工艺以及真空熔焊工艺中出现的成品率差、焊料出气、真空保持性不好、封装过程中施加高温等问题提出了一种新型的适用于MEMS陀螺仪的冷压焊真空封装结构，本实用新型采取冷压焊封帽技术，封装过程中无需施加高温和焊料，很好的...

本实验新型提出了一种适用于MEMS惯性传感器封装的陶瓷管壳，开发出一款适用于MEMS惯性传感器常压封装的陶瓷管壳结构，所述管壳采用陶瓷材料，结构体积小，可将ASIC与惯性传感器表头封装在同一个腔体内，增加了产品集成度。主要包括伐金属盖板...

本实验新型提出一种适用于MEMS惯性传感器封装的陶瓷外壳，开发出一款适用于MEMS惯性传感器常压封装的陶瓷外壳结构，采用陶瓷材料，结构体积小，将ASIC与惯性传感器表头封装在同一个腔体内，增加了产品集成度。主要包括伐金属盖板和带引脚的陶...

一种适用于LCC封装芯片的测试座，由上盖，底座，探针，PCB，插针，螺丝组成。底座与上盖采用铝合金材质，底座上具有高精度的定位槽，保证LCC封装装入时的定位精确和测试效率。PCB作为探针和插针的固定载体，上面布有金属走线，提供电学连接；...