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北京手系科技有限责任公司专利技术
北京手系科技有限责任公司共有1项专利
多探头在线实时膜厚测量方法和装置制造方法及图纸
本发明公开了一种多探头在线实时膜厚测量方法和装置。本发明结合光谱检测单元的多波长分析能力和多通道并行信号特点,采用不同的平面位置对应不同的波长或中心波长,得到每一个波长的透射率,分别求得对应位置的厚度,通过多模态协同信号解析算法提高单一...
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