本发明公开了一种电子元器件工作状态检测设备，属于检测设备技术领域，包括机架模块、送料模块和检测模块，机架模块内包含往复运动的驱动架，机架模块两侧设置有两组供料流道，供料模块与驱动架联动相接，夹料组件活动装配于驱动机组上，驱动架具有前推状...

本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种半导体制造晶圆光刻装置，包括底座，所述底座表面固定安装有竖板，所述竖板表面转动安装有固定盘，两组竖板之间设置有顶板，所述顶板底壁设置有光刻机，两组竖板之间设置有定位机构，所述定位机构包括有承载组件...