本发明公开了一种半导体生产加工设备，属于半导体加工领域。一种半导体生产加工设备，包括上料箱，还包括：送料口，呈对称开设在上料箱的侧壁上，上料箱靠近送料口的一侧设置有密封机构，用于对上料箱进行密封；限位轨，固定连接在上料箱的内部，限位轨的...