本发明涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种具有散热功能的晶锭槽，包括侧壁、槽体、冷却管，槽体由侧壁围成，冷却管环绕槽体，冷却管嵌入侧壁；与槽体接触处，冷却管为平面形，与侧壁齐平；在槽体的顶部，冷却管的截面积大，在冷却管的底部，冷却管的截面...