本申请涉及氧化镓薄膜制备技术领域，尤其是涉及一种高质量氧化镓外延薄膜的制备方法、制备装置、氧化镓外延薄膜及其应用，高质量氧化镓外延薄膜的制备方法包括以下步骤：准备衬底以及多个靶材，进行双阶段分布沉积，第一阶段通过离轴靶材/低功率靶材沉积...