本发明提供了一种掺杂金属的SiC基旋转靶材，以质量百分比计，该靶材包括80-99.5％的SiC和0.5-20％的掺杂金属，其中所述掺杂金属包括Ti、Al、Cr、Ni、Cu、Ag、Sn和Zn中的一种或几种。本发明还提供了一种掺杂金属的Si...

本发明提供了一种导电氧化锆旋转靶材，该靶材成分为ZrOx，所述靶材密度为5.18—5.8g/cm3，其中，1.2≤X≤1.8。本发明还提供了一种导电氧化锆旋转靶材的制备方法，包括：氧化锆喷涂粉的制备；喷涂基体的处理；喷涂打底层；用等离子...