本发明涉及真空计技术领域，提供一种薄膜电容式真空规，其包括：外壳；应力释放结构；电极极板，电极极板设于外壳的内部，电极极板通过应力释放结构与外壳连接并将外壳分隔形成参考腔和工艺腔；弹性薄膜，弹性薄膜设于工艺腔内，且与电极极板连接形成封闭...

本发明涉及真空计技术领域，提供一种三电极真空度测量传感器其包括：壳体；电极极板，电极极板设于壳体的内部，并将壳体分隔形成参考腔和工艺腔；弹性薄膜，弹性薄膜设于工艺腔内，且与电极极板连接形成封闭腔；第一电极，第一电极的第一端穿设于封闭腔并...

本发明实施例提供一种真空度检测电路、真空规及真空度检测方法，属于真空测量技术领域，该真空度检测电路包括：顺次连接的载波生成模块、电容检测模块及输出处理模块。本发明实施例提供的真空度检测电路，设置顺次连接的载波生成模块、电容检测模块及输出...

本发明提供一种基于双路温控的薄膜真空计以及双路温控方法，薄膜真空计包括：等温体温控电路、下规管温控电路、电容器以及下规管，等温体温控电路与电容器连接，下规管与下规管温控电路以及电容器连接，第一电压控制模块，用于接收第一测温元件的第一变化...

本发明提供一种电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法，该装置包括：载波生成单元、信号采集单元、第一定时器和处理单元；载波生成单元用于根据配置的数字信号生成载波信号，并将载波信号传输至真空计的电极；信号采集单元用于采集真空计的调制信号...

本发明涉及检测元件技术领域，提供一种电容器结构及压力传感器，其中，电容器结构包括壳体和感应模块，壳体的一侧设置有通气口；感应模块固定设置在壳体内，感应模块包括固定电极、薄膜电极和第一连接层，固定电极为石英固定电极，薄膜电极为石英可动电极...

本发明提供一种基于薄膜电容器的气体真空度检测方法及系统，包括：将预设的激励信号分别输入含有薄膜电容器的检测电路和含有参考电容器的基准电路，在所述激励信号的作用下分别由所述检测电路和基准电路得到输出信号；根据所述检测电路的输出信号以及所述...

本发明提供一种真空度检测电路、真空度检测方法及真空计，其中，真空度检测电路包括：微处理器模块、信号驱动模块和信号检测模块，其中，所述信号检测模块的输入端与所述信号驱动模块的输出端连接，所述信号检测模块的输出端与所述微处理器模块的输入端连...

本发明涉及真空度测量技术领域，提供一种真空规颗粒阻挡结构，包括壳体、基层挡板和至少一层叠加层挡板，壳体的一侧适于固定薄膜电极，壳体的另一侧形成有空气通道；基层挡板设置在壳体内靠近空气通道一侧，并与壳体固定连接，基层挡板上设置有第一通气口...

本发明提供一种控温电路、恒温晶振电路及恒温晶体振荡器，控温电路包括：第一温度传感器、第二温度传感器、电压跟随器、电压比较器、功率管加热器以及第一稳压模块。本发明提供的控温电路、恒温晶振电路及恒温晶体振荡器，通过两个温度传感器可以精确的检...