一种在真空中底基（１４）涂层用的装置由一个交流电源（２）组成，该交流电源与两个设在一真空涂层室（１５）中的阴极（６、７）相连接，后者与极靶相互电作用，极靶被雾化，其雾化的粒子沉淀在底基（１４）上，其中在涂层室（１５）中引入一种生产气体，...

本发明涉及一种大功率电子束的驱动方法，所述电子束用于使处在坩埚等装置内的材料气化。用该方法可自动对偏转误差进行静态或动态修正。首先，用教入方法检测各个空间坐标和各个偏转电流的频率并将其存储到存储器中。在以后的操作中，将以这样的方式使用所...

基片传送装置，即，将基片（２３、２３′…）送入并使其通过真空处理设备的一种传送装置。该真空处理设备具有若干工作站、一个加热装置和若干基片支架，基片支架可以是板式的、扁平的和平行六面体的，这些基片支架可在垂直状态下沿预定的传送路径通过工作...

一种使用阴极溅射法在真空室（１）内在基底（１０）上淀积薄膜的装置，待加工的基底可穿过真空室移动，该装置包括一个溅射阴极（１２）和阳极（４，５）之间的挡板（８，９），其中基底平面布置在阳极的下面，阳极是具有Ｌ形横截面的型材导轨，其短边（４...

真空镀膜设备的真空室（３）中放有一个盛蒸发物的坩埚（４）和一种与蒸发物保持距离的被镀物。蒸发物为金属或金属氧化物或其混合物，被镀物例如为一种通过滚筒的薄膜（８）。在坩埚（４）上方，薄膜所通过的镀膜滚筒（６）的两侧分别配置一个小室（９、１...

提出一种特别适用于在一种特别是带形的衬底（１）上沉积一种气态介质的情况下用一种装置来产生图案的辊体，该辊体具有一种在辊体上构成的加深图案，用这种加深图案可显著增加对气态介质的存储量，并在滚压下作为液膜凝结在衬底（１）上，该加深图案具有一...

薄膜（２）的涂敷设备在涂敷辊下方有一个带式遮盖物，此带式遮盖物具有一个带导向辊（７，５ｂ）的支架（４），这些导向辊朝涂敷辊托住遮盖带。至少一个导向辊（７，５ｂ）在支架（４）上可离开涂敷辊，并同时支承到遮盖带的外围而可旋转。这种旋转运动通...

一个用于薄膜（２）的涂层设备，具有一个在涂层辊（１）下方的带盖（３）。它具有一个带转向辊（９）和两个挤压辊（６，７）的机架（４），辊（６，７）将盖带（８）定位到涂层辊（１）上。至少一个挤压辊（６，７）安置在机架（４）上并可回转地离开涂层...