披露了一种光刻设备(50)，具有控制器(55)、曝光系统(66，67)、以及晶片装载机系统(94)。控制器(55)可操作以配置并直接控制曝光系统(66，67)、晶片装载机系统(94)、以及以下中的至少一个：检查系统(72)和抗蚀剂处理系...