一种用于锯基片或晶片的分割锯（６），它有一对反向旋转的锯条（５７，５８），它们可以沿垂直方向独立移动，从而交替与待分割的第一基片（１２）接合。传输系统（３３，３４）包括一对基片载体（４２，４３），它使第一基片往复处于那对锯条（５７，５８...

一种锯切系统（２００），在加载／卸载区域（１１５）和锯切区域（２１０）之间加入了一个观察区域（２２０）。该方案允许双轴反向旋转锯组件（２３０）被更加刚性地安装，这减少了锯组件在锯切过程中的位移。这就有利地减小了由锯组件的锯条所锯切口的变...

一种用于锯基片或晶片的分割锯（６），它有一对反向旋转的锯条（５７，５８），它们可以沿垂直方向独立移动，从而交替与待分割的第一基片（１２）接合。传输系统（３３，３４）包括一对基片载体（４２，４３），它使第一基片往复处于那对锯条（５７，５８...