A·SAT株式会社专利技术
A·SAT株式会社共有2项专利
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提供了一种可以高精度地测量等离子体蚀刻装置用电极上设置的气体导入孔的测量方法以及具有高精度气体导入孔的电极。本发明的等离子体蚀刻装置用电极上设置的气体导入孔的测量方法，用于测量沿厚度方向贯穿等离子体蚀刻装置用电极中的基材而设置的气体导入...
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提供了一种可以高精度地测量等离子体蚀刻装置用电极上设置的气体导入孔的测量方法以及具有高精度气体导入孔的电极。本发明的等离子体蚀刻装置用电极上设置的气体导入孔的测量方法，用于测量沿厚度方向贯穿等离子体蚀刻装置用电极中的基材而设置的气体导入...
- 华为技术有限公司 110038
- 珠海格力电器股份有限公司 85666
- 中国石油化工股份有限公司 70716
- 浙江大学 66765
- 中兴通讯股份有限公司 62225
- 三星电子株式会社 60517
- 国家电网公司 59735
- 清华大学 47513
- 腾讯科技深圳有限公司 45165
- 华南理工大学 44282
- 开原海明新资源有限公司 19
- 吉林鑫达钢铁有限公司 184
- 中国石油化工股份有限公司 70717
- 东北林业大学 8938
- 华南理工大学 44283
- 厦门群欣科技有限公司 6
- 速菱快速电梯苏州有限公司 3
- 华鲁恒升荆州有限公司 1
- 邢台欧凯机械制造有限公司 1
- 尼德克株式会社 209