一种非热等离子体清洁设备(12)，包括：‑外壳(16)，其包括用于与气体供应装置流体连接的输入端口(30)；‑无线电波源(18)；‑控制器(22)，其被配置为在清洁步骤期间相继执行至少两个，优选地至少三个非热等离子体产生周期，每个产生周...