本发明涉及一种用于调节螺旋真空泵（１）的汲取腔外壳（２）温度的方法，所述螺旋真空泵包括两个设置在外壳（２）内部的转子（３），其中一冷却剂流用于调节外壳（２）的温度，所述冷却剂流的温度根据传感器（２７、２８、２９）这样控制，使得在泵的不同...

本发明涉及一种制冷机，其包括一壳体（２、１４、１９）、一圆柱形工作空间（１５、２１）、一圆柱形排出器（９、１７）、一位于壳体与排出器之间的缝隙（３６、３８）、一位于排出器内的回热器和一用于以高压和低压工作气体交替供给工作空间的装置，为了...

本发明涉及一种抽真空装置（１），用于将一个腔室抽真空至高真空范围内的压力，该抽真空装置包括一个抽吸侧的真空泵（２）和一个大气压力侧的真空泵（３）；抽吸侧的真空泵（２）设计为具有一个转子（１１）和一个定子（１０）的机械动力的真空泵；定子（...

本发明涉及一种螺旋真空泵（１）的恒温处理方法；为了达到泵在受热负荷时不明显改变其泵特性，本发明建议，根据螺旋真空泵（１）的工作状态，优选地为保持基本上恒定的泵间隙（４），调整冷却。

本发明涉及一种螺旋真空泵（１），包括泵壳（２、６）、装在此外壳内的转子（３、４）、一个用于转子的液体冷却装置以及一个驱动电机（９）；为了改善泵的冷却，本发明建议，附加地设置一个外部的由强制气流作用的用于泵壳（２、６）的冷却装置。

本发明涉及一种在真空条件下处理物体的多腔室装置（１），它具有一个连接到所述腔室（２、３、４）上的抽真空系统（５）；为降低抽真空的费用，建议抽真空系统（５）由一个具有多个级（１１、１２、１３）的预真空泵组成，每一个级的都配置有一个入口（１...