调节螺旋真空泵温度的方法技术

本发明专利技术涉及一种用于调节螺旋真空泵（１）的汲取腔外壳（２）温度的方法，所述螺旋真空泵包括两个设置在外壳（２）内部的转子（３），其中一冷却剂流用于调节外壳（２）的温度，所述冷却剂流的温度根据传感器（２７、２８、２９）这样控制，使得在泵的不同的热载荷的情况下，在转子（３）和汲取腔外壳（２）之间的间隙（４）保持基本上恒定，其特征为：用于汲取腔外壳（２）的冷却剂流是由风扇（２１）产生的气流，所述气流从外部绕流过汲取腔外壳（２）。此外，本发明专利技术涉及一种用于实施调节螺旋真空泵（１）的汲取腔外壳（２）温度的方法的螺旋真空泵。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
用于调节螺旋真空泵（１）的汲取腔外壳（２）温度的方法，所述螺旋真空泵包括两个设置在外壳（２）内部的转子（３），其中一冷却剂流用于调节外壳（２）的温度，所述冷却剂流的温度根据传感器（２７、２８、２９）这样地控制，使得在泵（１）的不同的热载荷的情况下，在转子（３）和汲取腔外壳（２）之间的间隙（４）保持基本上恒定，其特征为：用于汲取腔外壳（２）的冷却剂流是由风扇（２１）产生的气流，所述气流从外部绕流过汲取腔外壳（２）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：哈特穆特克里恩，克劳斯罗法尔，曼弗雷德贝林，
申请(专利权)人：奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]