本文提供了一种新颖的酸性氟化物活化的清洁化学品，其具有高效的ARC去除、清洁能力和对多种材料的优异相容性。本发明描述的组合物在FEOL、BEOL和FPD应用中提供ARC去除、PR剥离、蚀刻/灰分残余物清洁和CMP残余物去除，同时提供优异...