本实用新型公开了用于光电零部件的表面涂层设备，包括熔射机箱、熔射枪，所述熔射机箱包括电源、控制器、电流调节模组；所述熔射枪包括外壳、两个金属线进口、气源管进口、电弧罩，熔射枪前端具有两金属线进口，其向末端收拢并构成末端槽，两金属线进口、...

本发明涉及光电技术领域，特别涉及一种黄光制程光刻机零部件正光阻再生方法。本发明所述的一种黄光制程光刻机零部件正光阻再生方法，采用常规的毒性小近乎无毒的酮有机溶剂系对黄光制程光刻机零部件正光阻进行清洗去除以便再生使用，三种不同类的酮有机溶...

本发明涉及光电技术领域，特别涉及一种黄光制程光刻机零部件负光阻再生方法。本发明所述的一种黄光制程光刻机零部件正光阻再生方法，采用常规的毒性小近乎无毒的酮有机溶剂和酰胺溶剂复配对黄光制程光刻机零部件负光阻进行清洗去除以便再生使用，酮有机溶...