用于光电零部件的表面涂层设备制造技术

本实用新型专利技术公开了用于光电零部件的表面涂层设备，包括熔射机箱、熔射枪，所述熔射机箱包括电源、控制器、电流调节模组；所述熔射枪包括外壳、两个金属线进口、气源管进口、电弧罩，熔射枪前端具有两金属线进口，其向末端收拢并构成末端槽，两金属线进口、气源管进口分别连接并贯穿有两金属线和气源管，所述气源管一端连接外部气源、另一端对向末端槽，气源管具有在线压力计和电动压力调节阀；所述电弧罩固定于熔射枪前部，并由一个长度调节机构调节伸出量，电弧罩前端具有熔射分布器。本实用新型专利技术工艺可调性强，参数可调且灵活，能扩展熔射喷涂涂层粗糙度范围至5‑80μm，并具有较好的半自动化控制性能和安全性能。

Surface coating equipment for optoelectronic components

The utility model discloses a surface coating equipment for optical components, including spray box, spray gun, spray the chassis comprises a power supply, controller, current regulation module; the spray gun comprises a shell, two wire inlet, air tube inlet, arc spray gun has a front cover, two metal to the end of the line of imports, and folded to form an end groove, two wire inlet and air tube are respectively connected with two imported through the wire and air supply tube, one end of the air tube connected to an external source, the other end to end groove, air tube valve with on-line pressure gauge and electric pressure; the arc shield the spray gun is fixed on the front, and a length adjusting mechanism for adjusting the amount of extension, at the front end of the arc shield spray distributor. The utility model has the advantages of process adjustability, adjustable parameters and flexible, can extend the spraying coating roughness range to 5 80 mu m, and has a semi automated control performance and good safety performance.

【技术实现步骤摘要】
用于光电零部件的表面涂层设备
本技术属于光电喷涂
，尤其是用于光电零部件的表面涂层设备。
技术介绍
光电
使用的零部件，往往对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高，微小的杂质和尘埃，不均匀的表面粗糙度都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、打磨、除杂、喷涂等工序是非常重要的一系列技术，很多工艺需要经过对现有的设备进行非标定制才能满足其使用要求。热熔喷涂设备是一种可用于光电元件的表面加工设备，其可依各种不同的目的，在元件表面喷覆各种不同的涂层，以增进元件的能力。现有多种的热熔喷涂设备，如火焰熔射（FlameSpray）、电弧熔射等，其中电弧熔射（ElectricARCSpray）是利用两条分别接往不同电极的金属线相接触而产生电弧，使瞬间产生的高热将金属线材熔化，再经高压空气吹细分散化，带送吹向底材，堆积、凝固而形成涂层。在近40年的发展历程中，随着喷涂设备、喷涂材料和喷涂工艺的不断发展与更新，电弧熔射喷涂技术得到了飞跃性的发展和推广应用。然而在现有技术中，由于气流吹出金属粒子的大小不均匀，引起喷涂层硬度降低、喷涂层疏松，以及表面粗糙度不均匀的问题。此外，传统的熔射枪本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于光电零部件的表面涂层设备，其特征在于，包括熔射机箱、熔射枪，所述熔射机箱包括电源、控制器、电流调节模组；所述熔射枪包括外壳、第一金属线进口、第二金属线进口、气源管进口、电弧罩，熔射枪前端两侧对称分布第一金属线进口、第二金属线进口，所述第一金属线进口、第二金属线进口向末端收拢并在收拢区域附近构成末端槽，所述气源管进口位于第一金属线进口和第二金属线进口之间并延伸至末端槽，第一金属线进口、第二金属线进口、气源管进口分别连接并贯穿有第一金属线、第二金属线、气源管，所述第一金属线和第二金属线连接于熔射机箱的电源两极，所述气源管一端连接外部气源、另一端对向末端槽，气源管具有在线压力计和电动压力调节阀；...

【技术特征摘要】
1.用于光电零部件的表面涂层设备，其特征在于，包括熔射机箱、熔射枪，所述熔射机箱包括电源、控制器、电流调节模组；所述熔射枪包括外壳、第一金属线进口、第二金属线进口、气源管进口、电弧罩，熔射枪前端两侧对称分布第一金属线进口、第二金属线进口，所述第一金属线进口、第二金属线进口向末端收拢并在收拢区域附近构成末端槽，所述气源管进口位于第一金属线进口和第二金属线进口之间并延伸至末端槽，第一金属线进口、第二金属线进口、气源管进口分别连接并贯穿有第一金属线、第二金属线、气源管，所述第一金属线和第二金属线连接于熔射机箱的电源两极，所述气源管一端连接外部气源、另一端对向末端槽，气源管具有在线压力计和电动压力调节阀；所述电弧罩固定于熔射枪前部，并由一个长度调节机构调节其相对熔射枪外壳的伸出量，电弧罩前端具有熔射分布器，熔射分布器开有一系列分布槽；所述电流调节模组、在线压力计、电动压力调节阀连接控制器。2.根据权利要求1所述的用于光电零部件的表面涂层设备，其特征在于，所述气源管向第一金属线、第二金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：范银波，
申请(专利权)人：安徽高芯众科半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34