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埃斯梅斯公司专利技术
埃斯梅斯公司共有2项专利
流体微机电传感器/设备及其制造方法技术
公开了流体传感器设备的结构和组件。在一些可能的实施例中,流体传感器包括整体式/单片式基体结构,或者由被配置成彼此附接的两个或多于两个单独的主体元件组装而成的基体结构,并且基体结构具有沿着基体结构通过的流体通道、在所述基体结构中形成并与通...
用于监测并且调节流体流量的芯片器件及其制造方法技术
公开了一种用于监测流体介质的器件及其制造方法。所述监测器件可被实现为单个单片单元,该单元在没有单独封装的情况下由特定类型的材料制成,并且具有基体元件,所述基体元件包括至少一个流体端口和至少一个空腔或流体流动路径,所述至少一个空腔或流体流...
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