本发明涉及晶片、平板显示器（ＦＰＰ）和硬驱动盘（ＨＤＤ）的化学机械平面化（ＣＭＰ）的设备和方法。优选设备包括相对于地面以垂直方向空间定位的环形皮带。抛光垫粘到该皮带的外表面上。皮带的内表面具有多个晶片支架。电机用于驱动环形皮带在两皮带轮...