【技术实现步骤摘要】
蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器
本技术属于晶体加工
，更具体的说是一种晶体生长炉中使用的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器。
技术介绍
目前，现有技术的蓝宝石晶体生长采用的方法一般是泡生法，泡生法生长蓝宝石晶体所使用的是钨棒加热器，钨棒加热器是由直径为4?IOmm和一定长度的钨棒通过折弯进行组装形成笼状结构的圆形加热器，笼状加热器的直径和所需的钨棒数目根据泡生法的温场工艺条件进行选择，但是，这种笼状钨棒加热器具有如下明显的缺点:I)由于折弯的钨棒在加工过程中弓丨入较多的应力，使得加热器的底部容易变形断裂，使用寿命较短；2)高温稳定性能不好，容易变形造成温场不均，影响产品质量；3)维修维护成本较高。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种使用寿命长、高温性能稳定、温场均匀、维修维护成本较低的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器，其具体方案为:所述的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器由铜电极、钨棒、钨板、固定螺母、固定钨环组成，其特征是固定钨环设置为圆环形，固定钨环上均匀设置钨棒，钨棒的上端设置铜电极，钨棒的下端设置钨板，钨棒的上端通过固定螺母与铜电极固定连接，钨棒的下端通过固定螺母与钨板固定连接。本技术所述的铜电极，其特征在于铜电极的内部通有冷却水。本技术所述的固定螺母，其特征在于固定螺母的材质采用钨或者钥的一种。本技术所述的固定钨环，其特征在于固定钨环至少设置2个。本技术所述的鹤板,其特征在于鹤板的厚度采用3?5mm。本技术所述的钨棒，其特征在于钨棒的直径采用4?10mm。本技术的有益效果是蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器使用寿命长，高温性能稳...
【技术保护点】
蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器，由铜电极（1）、钨棒（2）、钨板（3）、固定螺母（4）、固定钨环（5）组成，其特征是固定钨环（5）设置为圆环形,?固定钨环（5）上均匀设置钨棒（2）,?钨棒（2）的上端设置铜电极（1）,?钨棒（2）的下端设置钨板（3）,?钨棒（2）的上端通过固定螺母（4）与铜电极（1）固定连接,?钨棒（2）的下端通过固定螺母（4）与钨板（3）固定连接。
【技术特征摘要】
1.蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器，由铜电极(I)、钨棒(2)、钨板(3)、固定螺母(4)、固定钨环(5)组成，其特征是固定钨环(5)设置为圆环形，固定钨环(5)上均匀设置鹤棒(2)，鹤棒(2)的上端设直铜电极(I)，鹤棒(2)的下端设直鹤板(3)，鹤棒(2)的上端通过固定螺母(4)与铜电极(I)固定连接，钨棒(2)的下端通过固定螺母(4)与钨板(3)固定连接。2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵广军，张雨，郭娜，
申请(专利权)人：元鸿山东光电材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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