蚀刻握持夹具制造技术

技术编号:9401203 阅读:101 留言:0更新日期:2013-12-05 03:45
一种蚀刻握持夹具,包括两个侧板、多个支持棒、多个夹板、至少两个夹板滑棒及至少一个夹板压棒,所述两个侧板分置左、右两侧,所述多个支持棒连接于所述两侧板,所述多个夹板设置于所述两个侧板之间,所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间,且穿过所述多个夹板,所述至少一个夹板压棒设置于所述一个侧板上。借此,可用于玻璃片或晶圆蚀刻等工件的握持,使蚀刻液的流场顺畅,玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触,以将边缘蚀刻干净。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种蚀刻握持夹具,其特征在于,包括:两个侧板,所述两个侧板分置左、右两侧;多个支持棒,所述多个支持棒连接于所述两侧板;多个夹板,所述多个夹板设置于所述两个侧板之间;至少两个夹板滑棒,所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间,且穿过所述多个夹板;以及至少一个夹板压棒,设置于所述一个侧板上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:陈毓正吴宗恩余智林
申请(专利权)人:弘塑科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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