【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种上转换发光的Er/Yb共掺杂TiO2薄膜的制备方法,其特征在于,采用射频磁控溅射技术,靶材使用镶嵌金属Er片和Yb片的TiO2陶瓷靶,基片采用石英或硅片,射频磁控溅射制备得上转换发光的稀土元素Er/Yb共掺杂TiO2薄膜,通过控制靶材中Er和Yb的含量来控制掺杂量;制备的具体条件如下:基板温度为室温至300℃;溅射前真空室本底压强为2.0×10?3?Pa,射频磁控溅射时使用氧氩混合气体,总气压为0.1~1.0?Pa,其中,O2分压占总气压比为0.5~10.0%;溅射功率密度为17.7~177?kW/m2?;制备出的薄膜样品在空气下退火,或者在氮气、惰性气体保护下退火,退火温度为500~1200℃,退火时间为0.5~5小时。
【技术特征摘要】
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