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一种上转换发光的Er/Yb共掺杂TiO2薄膜的制备方法技术
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文档序号:9354106
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本发明属于太阳能和激光技术领域,具体为一种上转换发光的Er/Yb共掺杂TiO2薄膜的制备方法。本发明采用射频磁控溅射技术,靶材使用镶嵌金属Er片和Yb片的TiO2陶瓷靶,基片为石英或硅片;射频磁控溅射制备得上转换发光的稀土元素Er/Yb共掺...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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