【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种太阳电池复合减反射膜的制备工艺,属于光伏电池材料制备
技术介绍
目前,主流的太阳电池是硅电池,单片太阳电池一般不具备实用性,实际应用的多为太阳电池组件。太阳电池组件是由多片太阳电池组合而成,用以达到期望的电压值。在太阳电池板表面,通常需要装玻璃挡板作为保护。就玻璃的透光性而言,光的损失主要是吸收和反射两个方面。太阳电池转换效率损失原因之一在于表面玻璃挡板对入射太阳光存在 10 %左右的反射损失。为提高电池的光电转换效率,应减少电池表面光的反射损失,增加光的透射。因此减少表面阳光反射,是提高太阳电池转换效率的有效途径之一。目前主要采用两种方法(I)是将电池表面腐蚀成绒面,增加光在电池表面的入射次数。(2)是在电池表面镀一层或多层光学性质匹配的减反射膜。减反射膜(增透膜)是减少玻璃反射光损失的一种非常有效的方法,其方法是在空气、玻璃界面上涂覆透明的晶体膜,构成空气一晶体膜一玻璃三层介质,使空气一晶体膜和晶体膜一玻璃两处界面的反射光产生相消干涉。当膜层的折射率!^小于玻璃基底折射率% (约1. 52),只要薄膜光学厚度不是λ/2 (λ为入射光波长)的整数倍,都有增透的作用,而且膜的折射率越小,反射率越小,增透效果就越好;当薄膜光学厚度为λ /4的奇数倍时,反射率达到最小值,此时若所镀膜层的折射率正好满足 ^( Iitl为空气折射率),则反射率R=0,实现100%透射,但自然界中很难找到折射率如此低的物质。同时,就其光学性质、稳定性全面考虑,比较适用的材料并不很多。再加上现有的镀膜设备和工艺条件的限制,可供选择的材料较少。目前常用的减 ...
【技术保护点】
一种太阳电池复合减反射膜的制备工艺,首先,在玻璃基底上采用脉冲反应磁控溅射在基底上沉积TiO2?ZnO复合膜层;然后,依次采用脉冲反应磁控溅射层叠沉积TiO2膜层、SiO2膜层及MgF2膜层;最后,将四层膜系结构的减反射薄膜样品放入退火炉内进行退火处理,得到多层减反射膜,?其特征在于:其按以下步骤实施,(1)以纯度为99.999%的Ar和O2作为溅射气体和反应气体,以钛靶和锌靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在玻璃基底上沉积TiO2?ZnO复合膜层;(2)?以纯度为99.999%的Ar和O2作为溅射气体和反应气体,以钛(Ti)靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在TiO2?ZnO复合膜层上沉积TiO2?膜层;(3)以纯度为99.999%的Ar作为溅射气体,以纯度为99.999%的SiO2靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在TiO2膜层上沉积SiO2膜层;(4)以纯度为99.999%的Ar作为溅射气体,以纯度为99.99%的MgF2化合物单靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在SiO2膜层上沉积MgF2膜层;(5)沉积完的减反射膜退火处理:将沉积品置于退火炉内,并充入流量40sccm的氮气,采用500oC炉 ...
【技术特征摘要】
1.一种太阳电池复合减反射膜的制备工艺,首先,在玻璃基底上采用脉冲反应磁控溅射在基底上沉积TiO2-ZnO复合膜层;然后,依次采用脉冲反应磁控溅射层叠沉积TiO2膜层、 SiO2膜层及MgF2膜层;最后,将四层膜系结构的减反射薄膜样品放入退火炉内进行退火处理,得到多层减反射膜,其特征在于其按以下步骤实施,(1)以纯度为99.999 %的Ar和O2作为溅射气体和反应气体,以钛靶和锌靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在玻璃基底上沉积TiO2-ZnO复合膜层;(2)以纯度为99.999%的Ar和O2作为溅射气体和反应气体,以钛(Ti)靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在TiO2-ZnO复合膜层上沉积TiO2膜层;(3)以纯度为99.999%的Ar作为溅射气体,以纯度为99. 999%的SiO2靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在TiO2膜层上沉积SiO2膜层;(4)以纯度为99.999%的Ar作为溅射气体,以纯度为99. 99%的MgF2化合物单靶为靶材,采用脉冲反应磁控溅射在SiO2膜层上沉积MgF2膜层;(5)沉积完的减反射膜退火处理将沉积品置于退火炉内,并充入流量40sCCm的氮气, 采用500°C炉温退火5 min,得复合减反射膜成品。2.根据权利要求1所述的一种太阳电池复合减反射膜的制备工艺,其特征在于(1)将K9玻璃(30mmX50mmX 1mm)基底先用洗涤剂进行清洗,再依次采用丙酮、无水乙醇及去离子水各超声清洗15分钟,最后在密封干净的干燥箱中烘干;(2)将洗净的玻璃基底放入溅射室内,溅射靶和基底的距离调整为10cm,然后将溅射室本底真空度抽至6 X 10 —4Pa;(3)以纯度为99.999%的Ar和O2作为溅射气体和反应气体,将Ar和O2比调至4 :1, 溅射室工作压强为IPa,以钛靶和锌靶为靶材,钛靶和锌靶的功率均为50W,采用脉冲反应磁控...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨雯,自兴发,杨培志,刘瑞明,王海蓉,
申请(专利权)人:云南师范大学,
类型:发明
国别省市:
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