【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶罩,用于溅射镀膜中对零部件的非镀膜区域进行遮挡的靶罩。
技术介绍
现有的靶罩,仅仅是一个罩壳;罩壳由面板和在面板两侧的侧板组成,面板上开有溅射孔,需要镀膜的零件在溅射孔上方,被溅射物质穿过溅射孔到达零件表面,形成镀层。但是该靶罩的溅射孔的大小一般的固定,需要改变溅射区域上,需要另外制作靶罩,也就是说,靶罩的通用性不好。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够改变溅射区域、通用性好的靶罩。本靶罩,包括罩壳和挡板;罩壳包括面板和在面板两侧的侧板,面板上开有溅射孔,设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧;挡板可移动地设置在面板上,挡板的一部分位于溅射孔的上方。本技术的有益效果由于挡板可移动地设置在面板上,挡板的一部分位于溅射孔的上方。所以通过移动挡板的位置,即可改变挡板遮挡住溅射孔的区域大小,被挡板挡住的溅射孔部分,也是非溅射区域。也就是说,通过改变挡板的位置,就能改变溅射区域。上述的靶罩,挡板上开有腰形孔,面板上开有螺孔,穿过腰形孔的螺钉与螺孔相连。优选,挡板包括与面板平行的连接板、与连接板相连的向上延伸的过渡板、伸出到溅射孔上方的工作板;腰形孔在连接板上。这样更便于移动挡板,提高工作效率。上述的靶罩,翼板从下向上向溅射孔的内侧倾斜,以防止被溅射物质逸出溅射区域。附图说明图I是靶罩的主视图。图2是靶罩的俯视图。图3是靶罩的侧视图。图4是靶罩的立体图。具体实施方式参见图1-4所不的祀罩,包括罩壳10和挡板20。罩壳10包括面板I和在面板两侧的两个侧板2,面板上开有溅射孔3,设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板4位于溅射孔两侧,翼板从下 ...
【技术保护点】
靶罩,其特征是:包括罩壳和挡板;罩壳包括面板和在面板两侧的侧板,面板上开有溅射孔,设置在面板上、向上延伸的两块相对的翼板位于溅射孔两侧;挡板可移动地设置在面板上,挡板的一部分位于溅射孔的上方。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杜杰,王建华,王鲁南,项宏其,窦立峰,
申请(专利权)人:南京汇金锦元光电材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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