【技术实现步骤摘要】
本技术涉及链式清洗、刻蚀设备,尤其是涉及一种链式湿法刻蚀设备的传动件防震装置。
技术介绍
链式湿法刻蚀设备中通常都设有传动杆和插件,通过插件来支撑传动杆。现在在链式湿法刻蚀设备中,大多数采用塑料插件支撑传动杆方式来传动硅片。由于现有插件与传动杆会产生粉末,从而导致传动杆震动,造成硅片内伤甚至破裂。为消除震动,不使硅片内伤、破裂,需要对现有插件结构进行改进。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术链式湿法刻蚀设备插件与传动杆会产生粉末,从而导致传动杆震动,造成硅片内伤甚至破裂的技术问题,提供了一种传动件防震装置。为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案为设计一种传动件防震装置,包括前插件、后插件,所述前插件上设置有前插孔,所述后插件上设置有后插孔,所述前插孔的底部设置有朝下凹陷的容粉槽,所述后插孔的底端设置有朝下凹陷且朝外侧下方倾斜的流粉槽。所述前插件包括设置在插件孔两侧上方的相对的两侧壁、连接在两侧壁之间且可相对两侧壁上下运动的中间插件和设于所述某一侧壁上部且可相对所述侧壁向下运动压迫所述侧壁朝内侧倾斜的调节板。所述传动件防震装置还包括两端分别插于所述前插孔和后插孔中的传动杆。所述中间插件的侧视图呈“工”字型。本技术通过在前插孔和后插孔上分别设置容粉槽和流粉槽,从而可将前插件与传动杆之间产生的粉末收容在容粉槽中,将后插件与传动杆之间产生的粉末通过流粉槽排出,从而可防止传动杆震动,不会造成硅片内伤甚至破裂。附图说明下面结合实施例和附图对本技术进行详细说明,其中图I是本技术传动件防震装置的结构示意图;图2是本技术传动件防震装置的前插件端面结构示意图;图3是本技术传动件 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种传动件防震装置,包括前插件、后插件,所述前插件上设置有前插孔,所述后插件上设置有后插孔,其特征在于所述前插孔的底部设置有朝下凹陷的容粉槽,所述后插孔的底端设置有朝下凹陷且朝外侧下方倾斜的流粉槽。2.根据权利要求I所述的传动件防震装置,其特征在于所述前插件包括设置在插件孔两侧上方的相对的两侧壁、连接在两侧壁...
【专利技术属性】
技术研发人员:磨建新,谢鑫,
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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