籽晶切割夹具制造技术

技术编号:6894114 阅读:301 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
籽晶切割夹具,由固定夹、工作台、十字榫、滑动夹、支撑台、调节钮、十字榫槽组成,其特征是支撑台的上端设置工作台,工作台的上端一侧设置固定夹,工作台的上端另一侧设置滑动夹,工作台的下端中心位置上设置十字榫,与十字榫相对应的支撑台上设置十字榫槽,十字榫的下侧设置调节钮,本实用新型专利技术的有益效果是籽晶切割夹具结构简单,使用方便,籽晶在切割过程中不易出现损伤。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于切割机械
,更具体的说是一种单晶硅晶体生长过程中使用的籽晶的切割工具。技术背景单晶硅是制造半导体硅器件的主要原料,广泛应用于制造大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等,但由于单晶硅晶体生长中成核是比较困难的一步,在单晶硅晶体生长过程中需要采用籽晶进行引导,籽晶实际上就是提供一个晶体比较容易继续生长的中心,籽晶要求选材要好,要选用晶向一致、无位错、无损伤、无应力的部分,一般取材部位与尾部要有足够距离,切割过程中不能有切割损伤,以免影响单晶硅晶体的生长,目前还没有专业的籽晶切割夹具,籽晶切割技术含量高,切割难度大,切割过程中一旦出现损伤, 在晶体的生长过程就容易出现断裂,就会造成较大的经济损失。
技术实现思路
为解决上述问题,本技术提供了一种专业的籽晶切割夹具,所述的籽晶切割夹具由固定夹、工作台、十字榫、滑动夹、支撑台、调节钮、十字榫槽组成,其特征是支撑台的上端设置工作台,工作台的上端一侧设置固定夹,工作台的上端另一侧设置滑动夹,工作台的下端中心位置上设置十字榫,与十字榫相对应的支撑台上设置十字榫槽,十字榫的下侧设置调节钮。本技术所述的十字榫、十字榫槽,其特征在于十字榫和十字榫槽的断面均为梯形,十字榫与十字榫槽相吻合。使用时,将需要切割的籽晶利用固定夹和滑动夹夹住,通过调节钮使工作台在十字榫槽的约束下转动,完成对籽晶各面的切割作业。本技术的有益效果是籽晶切割夹具结构简单,使用方便,籽晶在切割过程中不易出现损伤。附图说明附图是本技术结构示意图,附图中1.固定夹,2.工作台,3.十字榫,4.滑动夹,5.支撑台,6.调节钮,7.十字榫槽。具体实施方式结合附图对本技术进一步详细描述,以便公众更好地掌握本技术的实施方法,本技术具体的实施方案为所述的籽晶切割夹具由固定夹1、工作台2、十字榫3、 滑动夹4、支撑台5、调节钮6、十字榫槽7组成,其特征是支撑台5的上端设置工作台2,工作台2的上端一侧设置固定夹1,工作台2的上端另一侧设置滑动夹4,工作台2的下端中心位置上设置十字榫3,与十字榫3相对应的支撑台5上设置十字榫槽7,十字榫3的下侧设置调节钮6。本技术所述的十字榫3、十字榫槽7,其特征在于十字榫3和十字榫槽7的断面均为梯形,十字榫3与十字榫槽7相吻合。使用时,将需要切割的籽晶利用固定夹1和滑动夹4夹住,通过调节钮6使工作台 2在十字榫槽7的约束下转动,完成对籽晶各面的切割作业。本技术的有益效果是籽晶切割夹具结构简单,使用方便,籽晶在切割过程中不易出现损伤。权利要求1.籽晶切割夹具,由固定夹(1)、工作台O)、十字榫(3)、滑动夹G)、支撑台(5)、调节钮(6)、十字榫槽(7)组成,其特征是支撑台(5)的上端设置工作台0),工作台( 的上端一侧设置固定夹(1),工作台( 的上端另一侧设置滑动夹G),工作台( 的下端中心位置上设置十字榫(3),与十字榫C3)相对应的支撑台( 上设置十字榫槽(7),十字榫(3) 的下侧设置调节钮(6)。专利摘要籽晶切割夹具,由固定夹、工作台、十字榫、滑动夹、支撑台、调节钮、十字榫槽组成,其特征是支撑台的上端设置工作台,工作台的上端一侧设置固定夹,工作台的上端另一侧设置滑动夹,工作台的下端中心位置上设置十字榫,与十字榫相对应的支撑台上设置十字榫槽,十字榫的下侧设置调节钮,本技术的有益效果是籽晶切割夹具结构简单,使用方便,籽晶在切割过程中不易出现损伤。文档编号B28D7/04GK202053394SQ20112012462公开日2011年11月30日 申请日期2011年4月13日 优先权日2011年4月13日专利技术者刘西诚, 岳耀清, 赵体月 申请人:济宁佳华电子材料有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.籽晶切割夹具,由固定夹(1)、工作台(2)、十字榫(3)、滑动夹(4)、支撑台(5)、调节钮(6)、十字榫槽(7)组成,其特征是支撑台(5)的上端设置工作台(2),工作台(2)的上端一侧设置固定夹(1),工作台(2)的上端另一侧设置滑动夹(4),工作台(2)的下端中心位置上设置十字榫(3),与十字榫(3)相对应的支撑台(5)上设置十字榫槽(7),十字榫(3)的下侧设置调节钮(6)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵体月刘西诚岳耀清
申请(专利权)人:济宁佳华电子材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:37

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