【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及流体设备领域,是一种真空获得设备的结构专利技术,更具体地讲, 本专利技术是一种用于涡轮分子泵的轴系减振结构。
技术介绍
在真空获得设备中,分子泵是一种高转速、高精度的真空泵。由于高速转 动零件的不平衡,零件制造误差等因素,造成分子泵在运转过程中会产生振动。 这些振动会加剧轴承磨损,降低分子泵的使用受命,甚至引起结构疲劳破坏, 因此要尽可能的降低分子泵的振动。目前,涡轮分子泵的轴承减振一般使用圆 形截面或矩形截面的橡胶圈套在轴承的外侧,以达到径向减振的目的。其优点 是加工制造和安装都较方便。在轴向一般使用弹簧减振结构,这种结构的缺点 是不能有效地克服轴向振动引起的接触面摩擦及产生的振动及噪声。
技术实现思路
本专利技术的目的在于,针对已有减振结构的不足,设计出一种既有良好的减 振性能,又便于加工制造的新结构。这种结构可以实现良好的径向和轴向减振。 本专利技术的目的是通过下述技术方案实现的在分子泵两轴承的外侧放置一个轴承套筒,轴承套筒的上下两端开槽,也 可以在与轴承套筒相配合的零件上开槽;槽内安装径向减振橡胶圈,胶圈可以 是圆形截面或矩形截面;同时在轴承套筒的一端或两端安装轴向减振垫,轴向 减振垫可以具有多种形式。因为这类结构同时具有径向和轴向减振功能,所以 减振效果良好。又因为轴承直接与轴承套筒相接触,而不是与导热性差的橡胶 相接触,所以导热性能有很大提高。这里举两个例子, 一个是轴向减振垫为矩形橡胶圈;另一个是轴向减振垫为橡胶和金属压制而成的组件。以下结合附图对本专利技术进行说明,其中-图i是传统减振结构剖面图。 图2是第一种减振结构剖面图。图3是 ...
【技术保护点】
应用于涡轮分子泵的一种轴系减振结构,其特征为在分子泵的两个轴承外放置一个轴承套筒,在轴承套筒的两端设置减振结构。
【技术特征摘要】
1.应用于涡轮分子泵的一种轴系减振结构,其特征为在分子泵的两个轴承外放置一个轴承套筒,在轴承套筒的两端设置减振结构。2. 根据权利要求1所述的减振结构,其特征为在套筒的两端开槽,或在与 套筒相配合的零件上开槽,槽内放...
【专利技术属性】
技术研发人员:邹蒙,李明月,范斌,
申请(专利权)人:北京中科科仪技术发展有限责任公司,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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