【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉装置领域,尤其是一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构。
技术介绍
传统的单晶硅炉主要用于生产硅半导体材料,单晶硅炉包括硅半导体材料生长合 成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动糸统。传统的单晶硅炉的硅籽 晶提升结构采用硬轴旋转和提拉,从而使中心轴较长,造成设备高度较大较高,且旋转提拉 稳定性差,造成产品正品率低,使用制作成本高,维修麻烦。
技术实现思路
本技术针对上述技术中存在的缺点,提供一种单晶炉的籽晶提拉旋转机构, 它具有提拉平稳的优点,克服了上述技术中存在的不足之处。实现本技术目的的技术方案如下单晶炉的籽晶提拉旋转机构,它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体,箱体 内包括两个转轴,一个转轴随电机转动,该转轴上固定有卷轮,卷轮侧面设有片状齿轮,卷 轮上设有钢丝绳,另一个转轴上设有配重块,该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接,钢丝绳 下端设有连接体,连接体与重锤连接,重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。所述的箱体上设有阻尼套出线口,钢丝绳从该阻尼套出线口穿出与连接体连接。所述的连接体内设有小电机,该小电机通过联轴器与重锤连接。采用了上述方案,钢丝绳代替了硬轴大大降低了设备的高度,采用配重块的配合, 使得卷轮在卷钢丝时不会一边侧重,是配重块起到平衡、稳定的作用。本技术的好处是能用简单的结构实现旋转提拉稳定性好,降低设备高度达 90%,达到理想的使用效果,大幅度提高了产品的正品率,且结构简单,制作使用成本低,维 修和使用简便效果好。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为图1的俯视图。具体实施方式如图1、图2所示,单晶炉的籽晶提拉旋转机构,它包 ...
【技术保护点】
单晶炉的籽晶提拉旋转机构,其特征在于:它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的箱体,箱体内包括两个转轴,一个转轴随电机转动,该转轴上固定有卷轮,卷轮侧面设有片状齿轮,卷轮上设有钢丝绳,另一个转轴上设有配重块,该配重块与片状齿轮通过齿啮合连接,钢丝绳下端设有连接体,连接体与重锤连接,重锤端部设有用于夹持籽晶的卡头。
【技术特征摘要】
1.单晶炉的籽晶提拉旋转机构,其特征在于它包括驱动电机以及由驱动电机驱动的 箱体,箱体内包括两个转轴,一个转轴随电机转动,该转轴上固定有卷轮,卷轮侧面设有片 状齿轮,卷轮上设有钢丝绳,另一个转轴上设有配重块,该配重块与片状齿轮通过齿啮合连 接,钢丝绳下端设有连接体,连接体与重锤连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈荣兴,
申请(专利权)人:江苏创大光伏科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]
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