基板检测装置和基板传送设备制造方法及图纸

技术编号:4900890 阅读:178 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的目的是提供一种提高安置布局灵活性的基板传送设备和基板检测装置。基板检测装置包括:投光器(41),用于投射检查光(40)以穿过由传送带(26)传送的基板(4)的路径上的预定位置;受光器(42),用于接收由投光器(41)投射的检查光(40);和检测器(控制装置15),用于当由传送带(26)传送的基板(4)抵达预定位置并且一部分检查光(40)被基板(4)阻挡时基于受光器(42)接收到的检查光(40)的接收光的数量的减小检测基板(4)抵达预定位置。在与由传送带(26)传送的基板(4)的传送方向垂直相交的方向上以及在传送带(26)的上表面和下表面被包括在一光路的状态下,检查光40从投光器(41)投射。受光器(42)接收在宽度方向通过传送带(26)的上下区域的检查光。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于检测由基板传送设备传送的基板抵达预定位置的基板检测装置 和包括该基板检测装置的基板传送设备。
技术介绍
在部件安装设备、丝网印刷设备等中,在用于定位和传送基板的基板传送设备中, 基板的右端和左端都布置在一对右和左传送带的上表面上,并且基板被传送。在这样的基 板传送设备中,用于检测传送的基板抵达预定位置的基板检测装置被布置,并且当该基板 检测装置检测基板抵达预定位置时,执行停止或降低基板的传送速度的控制。基板检测装 置包括用于投射检查光的投光器和接收从该投光器投射的检查光的受光器,并基于当检查 光被基板传送设备传送的基板阻挡时由受光器接收到的检查光的接收的光的量减小而检 测基板抵达预定位置。再者,已经知晓如此构造的一设备,即,使得即使当检查光以倾斜的方向而非垂直 的方向投射并且检查光进入孔时,基板能够通过孔的内壁反射检查光而被检测到,因为基 板不能在其中检查光刚通过布置在基板中的其中基板需要被检测的位置的孔(例如,用于 识别基板位置的孔或者用于固定基板的螺丝孔)的位置被检测到(专利参考文献1)。专利参考文献1 JP-A-6-21133
技术实现思路
技术问题但是,在如上所述的用于在基板的垂直方向上投射检查光的设备(也包括如专利 参考文献1中所述的在倾斜方向投射检查光的设备)中,检查光须在右和左传送带之间通 过,并且具有在投光器和受光器的安置布局灵活性低的缺点。因此,本专利技术的目的是提供一种能够提高安置布局灵活性的基板传送设备和基板 检测装置。技术手段根据本专利技术的第一方面的基板检测装置,包括投光器,用于投射检查光以通过在 由传送带传送的基板的路径上的预定位置;受光器,用于接收由投光器投射的检查光;以 及检测器,用于基于当由传送带传送的基板抵达预定位置并且一部分检查光被基板阻挡时 由受光器接收到的检查光的接收到的光的数量减小而检测基板抵达预定位置,所述检查光 从投光器投射以包括在垂直于由传送带传送的基板的传送方向的方向上的检查光的光路 中传送带的宽度方向的相对末端,并且受光器接收通过传送带的上下区域的检查光。根据本专利技术的第二方面的基板传送设备是用于通过传送带传送基板的基板传送 设备,并包括上述的第一方面的两个基板检测装置,并且每一基板检测装置所具有的投光 器和受光器在基板的传送方向布置成直线,所述基板传送设备还包括基板传送控制器,用 于当具有布置在基板的传送方向的近端(near side)的受光器和投光器的一个基板检测装置检测到基板时降低基板的传送速度,并且当所包括的另一基板检测装置检测到基板时停 止基板的传送。根据本专利技术的第三方面的基板传送设备是用于通过传送带传送基板的基板传送 设备,并包括上述第一方面的多个基板检测装置,每一基板检测装置所具有的投光器和受 光器在基板的传送方向布置成一直线,所述基板传送设备还包括基板位置检测器,用于基 于每一基板检测装置是否检测到基板的信息检测基板的位置。有益技术效果本专利技术的基板检测装置构造为以使得检查光从投光器投射以包括在垂直于传送 带传送的传送方向的方向上的检查光的光路中的传送带的宽度方向的相对末端(也就是, 以使得在厚度方向跨过传送带),并且受光器接收通过传送带的上下区域的检查光,以使得 没有传统技术中描述的必须在右和左传送带之间通过检查光的限制,并且投光器和受光器 的安置布局能够得以改善。再者,检查光被投射和接收以包括在光路中传送带的宽度方向 的相对末端,以使得基板能够高精度地被检测到,即使当传送带竖直移动(微小振动)并且 基板厚度非常薄时。再者,本专利技术的基板传送设备包括上面描述的本专利技术的基板检测装置, 以使得能够非常高精度地执行基板传送速度的降低、停止基板的控制或位置检查。附图说明图1是在本专利技术的一个实施例中的部件安装设备的透视图。图2是在本专利技术的一个实施例中基板传送设备的平面图。图3是在本专利技术的一个实施例中的基板传送设备的侧视图。图4是在本专利技术的一个实施例中的基板传送设备的截面前视图。图5是在本专利技术的一个实施例中的基板传送设备的部分分解透视图。图6仏)、(13)、6((3)和(d)是示出在本专利技术的一个实施例中的基板检测装置所包括 的基板和光学传感器之间的位置关系的图形。具体实施例方式附图标记列表3 基板传送设备4 基板15 控制装置(检测器、基板传送控制器、基板位置检测器)21 基板检测装置26 传送带40 检查光41 投光器42 受光器在此及后将参照附图描述本专利技术的实施例。图1是在本专利技术的一个实施例中的部 件安装设备的透视图,图2是在本专利技术的一个实施例中的基板传送设备的平面图,图3是在 本专利技术的一个实施例中的基板传送设备的侧视图,图4是在本专利技术的一个实施例中的基板 传送设备的截面前视图,图5是在本专利技术的一个实施例中的基板传送设备的部分分解透视4图,以及图6(&)、6(13)、6((3)和6(d)是示出在本专利技术的一个实施例中的基板检测装置所包 括的基板和光学传感器之间的位置关系的图形。在图1中,部件安装设备1包括在底座2上的本专利技术的一个实施例中的基板传送 设备3,基板4由该基板传送设备3在水平面内部的一个方向(X轴方向)传送。基板传送 设备3在X轴方向在底座2上延伸,在垂直于X轴方向的水平方向(Y轴方向)延伸的Y轴 台5布置在基板传送设备3之上。在Y轴方向延伸的两个平行的导轨6布置在Y轴台5的 端面中,两个Y轴滑动器7布置成能够沿着这两个导轨6中的导轨6 (即Y轴方向)移动。 在X轴方向延伸的X轴台8的一端附着到每一 Y轴滑动器7,能够沿着X轴台8 (也就是X 轴方向)移动的移动阶台9布置在每个X轴台8中。转换头10附着到每一移动阶台9,在竖直方向(轴方向)延伸的多个吸嘴11布置 在每一转换头10中。用于馈送部件到转换头10的多个部件馈送器12在X轴方向上在基 板传送设备3的横向区域中布置成一直线。其成像区域向下转动的基板照相机13布置在 转换头10中,其成像区域向上转动的部件照相机14布置在底座2上。在基板4在X轴方向传送后,基板传送设备3定位基板4在预定安装工作位置。通 过X轴台8自身在Y轴方向的移动以及移动阶台9自身在X轴方向的移动,移动阶台9相 对于定位在安装工作位置中的基板4移动,使得定位在基板4上的基板照相机13执行基板 4的定位标记(未示出)的图象识别(成像),其后通过转换头10所包括的吸嘴11拾取由 部件馈送器12馈送的部件。然后,通过吸嘴11吸吮的部件在水平方向移动以穿过部件照 相机14的上部(在部件照相机14的视野内),并且部件照相机14执行该部件的下表面的 图象识别(成像),然后,由吸嘴11吸吮的部件基于给到它的部件的安装位置数据安装在 基板4上。此时,通过基板照相机13的图象识别获得的基板4的位置偏差和由部件照相机 14的图象识别获得的部件到吸嘴11的吮吸偏差被修正,所述部件安装在基板4上的适当位 置。接着,将描述包括在该部件安装设备1中的基板传送设备3。基板传送设备3包括 布置在底座2上的在X轴方向延伸的右和左传送器基部22 (同样参见图1)以及附着到该 右和左传送器基部22的传送器机构,如图2和3所示。传送器机构包括关于基板4的传送 方向位于最上游侧的向后传送器机构23、位于向后传送器机构23的下游侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板检测装置,包括:投光器,用于投射检查光以通过由传送带传送的基板的路径上的预定位置;受光器,用于接收由所述投光器投射的检查光;以及检测器,用于基于当由所述传送带传送的基板抵达所述预定位置并且一部分检查光被所述基板阻挡时受光器接收到的检查光的接收到的光的数量减少而检测基板抵达所述预定位置,其特征在于,所述检查光从所述投光器投射以包括在垂直于传送带传送的基板的传送方向的方向上的检查光的光路中的传送带的宽度方向的相对末端,并且所述受光器接收通过所述传送带的上下区域的检查光。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:八木周藏中根正雄礒端美伯
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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