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本发明的目的是提供一种提高安置布局灵活性的基板传送设备和基板检测装置。基板检测装置包括：投光器（４１），用于投射检查光（４０）以穿过由传送带（２６）传送的基板（４）的路径上的预定位置；受光器（４２），用于接收由投光器（４１）投射的检查光（４...
该专利属于松下电器产业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。

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