【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅芯炉配套设备,尤其涉及一种硅芯炉用籽晶夹头装置。
技术介绍
1、目前,光伏、半导体产业发展迅速,还原炉上用来附着沉积的硅芯需求量也在日益上涨。硅芯是将10至12英寸的硅棒切割成符合尺寸要求的细长芯棒,与还原炉上的电极相连,通过高电压击穿硅芯,通入sihcl3气体和氢气,进行还原反应,使si沉积在硅芯上。
2、已知的硅芯生产方法大致有两种,一种是将大直径硅棒切割成小直径的硅棒用以充当硅芯,此方法加工繁琐,时间、人工成本高、损耗大,除此以外,通过切割大直径硅棒的方法无法保证硅芯直径的均匀性。另一种方法是参考大直径硅棒的生长方法,同时生长多根硅芯,但目前此种方法一次生长硅芯数量较少,无法满足工业生产的大批量要求,但前景较好。因此,使用第二种方法制造硅芯,需要增加同批次生长硅芯的数量,并且要保证硅芯直径在工艺要求的误差范围内,为了达到这样的目的,需要一种新型的籽晶夹头装置。
技术实现思路
1、鉴于目前硅芯炉设备在大批量生长硅芯方面存在的上述不足,本技术提供一种硅芯炉用籽晶夹头装置,能够增加同批次生长硅芯的数量的效果。
2、为达到上述目的,本技术的实施例采用如下技术方案:
3、一种硅芯炉用籽晶夹头装置,包括吊接头、夹头盘和固定连接轴,吊接头下方与夹头盘连接,固定连接轴与夹头盘连接,所述夹头盘包括托盘、第一圈层和第二圈层;所述第一圈层包括第一电机、外圈主动齿轮和外圈齿轮盘;所述第二圈层包括第二电机、内圈主动齿轮和内圈齿轮盘;外圈齿轮盘下方连接
4、吊接头通过钨丝绳与升降机构连接,可以带动装置整体进行升降移动,便于将装置与籽晶吊装进硅芯炉中;夹头盘的第一圈层和第二圈层同心设置,可以分别一次性固定多个籽晶,可以在有限的空间内挂载给更多的籽晶,且第一电机、第二电机分别驱动外圈齿轮盘、内圈齿轮盘转动,使得位于同一圈层的籽晶所在区域的温场相同,在炉中的受热更加均匀。
5、依照本技术的一个方面,所述外圈齿轮盘包括偶数个外圈子齿轮;所述外圈子齿轮排列成圆形并两两咬合;所述外圈主动齿轮与某一外圈子齿轮咬合。
6、依照本技术的一个方面,所述内圈齿轮盘包括偶数个内圈子齿轮;所述内圈子齿轮排列成圆形并两两咬合;所述内圈主动齿轮与某一内圈子齿轮咬合。
7、依照本技术的一个方面,还包括电机支撑座;所述第一电机、第二电机通过电机支撑座与托盘固定连接。
8、依照本技术的一个方面,所述托盘下方设置有保温层,减少热量散失,节约能源。
9、依照本技术的一个方面,所述外圈子齿轮的数量大于20个。
10、依照本技术的一个方面,所述内圈子齿轮的数量大于20个。
11、本技术实施的优点:
12、通过同心设置的内外齿轮盘,每一齿轮盘上设置一定数量的两两咬合的子齿轮,每一子齿轮下方固定有一固定连接轴用于固定连接籽晶,使得在有限的空间内夹头装置能够挂载更多的籽晶,能够显著增加同批次硅芯生长的数量,提高了生产效率;每一齿轮盘的子齿轮首尾相连呈圆形排列并且两两咬合,保证同一圈层的籽晶所在区域的温场基本一致,也能有效保证生长得到的硅芯的直径误差率;每一齿轮盘通过一单独电机进行驱动,同一齿轮盘上的子齿轮转速相同,同时也提高了整个装置的容错率。
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1.一种硅芯炉用籽晶夹头装置,包括吊接头(1)、夹头盘和固定连接轴(4),吊接头(1)下方与夹头盘连接,固定连接轴(4)与夹头盘连接,其特征在于,所述夹头盘包括托盘(21)、第一圈层和第二圈层;所述第一圈层包括第一电机(221)、外圈主动齿轮(222)和外圈齿轮盘(223);所述第二圈层包括第二电机(231)、内圈主动齿轮(232)和内圈齿轮盘(233);外圈齿轮盘(223)下方连接有若干固定连接轴(4),内圈齿轮盘(233)下方连接有若干固定连接轴(4);所述外圈主动齿轮(222)与第一电机(221)连接并与外圈齿轮盘(223)咬合;所述内圈主动齿轮(232)与第二电机(231)连接并与内圈齿轮盘(233)咬合;所述内圈齿轮盘(233)与外圈齿轮盘(223)同心设置,其中,内圈齿轮盘(233)位于内部;第一电机(221)驱动外圈主动齿轮(222)带动外圈齿轮盘(223)转动;第二电机(231)驱动内圈主动齿轮(232)带动内圈齿轮盘(233)转动。
2.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置,其特征在于,所述外圈齿轮盘(223)包括偶数个外圈子齿轮(224);所述
3.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置,其特征在于,所述内圈齿轮盘(233)包括偶数个内圈子齿轮(234);所述内圈子齿轮(234)排列成圆形并两两咬合;所述内圈主动齿轮(232)与某一内圈子齿轮(234)咬合。
4.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置,其特征在于,还包括电机支撑座(211);所述第一电机(221)、第二电机(231)通过电机支撑座(211)与托盘(21)固定连接。
5.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置,其特征在于,所述托盘(21)下方设置有保温层(212)。
6.根据权利要求2所述的硅芯炉用籽晶夹头装置,其特征在于,所述外圈子齿轮(224)的数量大于20个。
7.根据权利要求3所述的硅芯炉用籽晶夹头装置,其特征在于,所述内圈子齿轮(234)的数量大于20个。
...【技术特征摘要】
1.一种硅芯炉用籽晶夹头装置,包括吊接头(1)、夹头盘和固定连接轴(4),吊接头(1)下方与夹头盘连接,固定连接轴(4)与夹头盘连接,其特征在于,所述夹头盘包括托盘(21)、第一圈层和第二圈层;所述第一圈层包括第一电机(221)、外圈主动齿轮(222)和外圈齿轮盘(223);所述第二圈层包括第二电机(231)、内圈主动齿轮(232)和内圈齿轮盘(233);外圈齿轮盘(223)下方连接有若干固定连接轴(4),内圈齿轮盘(233)下方连接有若干固定连接轴(4);所述外圈主动齿轮(222)与第一电机(221)连接并与外圈齿轮盘(223)咬合;所述内圈主动齿轮(232)与第二电机(231)连接并与内圈齿轮盘(233)咬合;所述内圈齿轮盘(233)与外圈齿轮盘(223)同心设置,其中,内圈齿轮盘(233)位于内部;第一电机(221)驱动外圈主动齿轮(222)带动外圈齿轮盘(223)转动;第二电机(231)驱动内圈主动齿轮(232)带动内圈齿轮盘(233)转动。
2.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:李广敏,吴海龙,姚伟,
申请(专利权)人:上海韵申新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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