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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵的使用方法,特别涉及一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法。
技术介绍
1、钛升华泵作为加速器超高/极高真空系统的核心真空获得设备,主要包含泵壳、泵芯、电源及附属线缆部件。钛升华泵在启动时,需要先将钛钼合金泵芯灯丝加热到1094℃并持续24h以上,用于除去附着气体,再将泵芯灯丝加热到1470℃并持续3min,使钛升华后附着在泵壳上形成新鲜的钛膜。
2、现有技术中,为了保证足够的除气和升华温度,分别对特定制造的钛钼合金泵芯灯丝施加28a和48a恒定直流电流。但此方法存在以下两方面的问题,第一,由于新加工的泵芯灯丝较粗,通常需要较大电流才能满足除气和升华温度的需求,否则会影响钛泵的出气率和抽速;第二,随着泵芯材料升华而消耗,灯丝截面变细导致电阻增加,根据功率公式p=i2r,当施加电流保持原有数值不变时,会使得灯丝温度过高而被烧断。同时,灯丝的电阻也会受机械加工和温度的变化而受影响。因此,现有技术中在对钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华的过程中,会因为电路中电流值偏高或偏低而导致钛升华泵的效率和寿命降低。
技术实现思路
1、针对上述现有技术存在的不足之处,本专利技术提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法,解决了现有技术中在对钛升华泵的泵芯灯丝进行除气和升华时会受电路中电流值的影响,导致钛升华泵的效率和寿命降低的技术问题。
2、本专利技术一方面提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,包括:钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块;
...【技术保护点】
1.一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,包括:钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块;
2.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述电阻监测模块包括继电器(3)和电阻表(4),其中,所述继电器(3)包括阳极触角(36)、阴极触角(35)、灯丝触角和回路触角(34);
3.根据权利要求2所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述灯丝的数量至少为两个,所述灯丝触角的数量与所述灯丝数量的相等,且每一所述灯丝触角与每一所述灯丝一一对应连接;
4.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述阴极触角(35)与多个所述灯丝触角之间循环切换导通;
5.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,当对所述泵芯(2)进行升华时,所述阴极触角(35)与任一所述灯丝触角导通,以对所述灯丝触角对应的所述灯丝进行升华,所述灯丝的升华时间为3分钟。
6.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述电流调节模块包括PLC控
7.根据权利要求6所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,
8.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述可控恒流电源(5)调节输出电流时保持输出功率不变。
9.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述钛升华泵包括相连接的真空腔体(7)和泵壳(1),所述灯芯设置在所述泵壳(1)内。
10.一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华方法,其特征在于,所述方法应用于权利要求1至9中任一项所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置中,所述方法包括:
...【技术特征摘要】
1.一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,包括:钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块;
2.根据权利要求1所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述电阻监测模块包括继电器(3)和电阻表(4),其中,所述继电器(3)包括阳极触角(36)、阴极触角(35)、灯丝触角和回路触角(34);
3.根据权利要求2所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述灯丝的数量至少为两个,所述灯丝触角的数量与所述灯丝数量的相等,且每一所述灯丝触角与每一所述灯丝一一对应连接;
4.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,所述阴极触角(35)与多个所述灯丝触角之间循环切换导通;
5.根据权利要求3所述的钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置,其特征在于,当对所述泵芯(2)进行升华时,所述阴极触角(35)...
【专利技术属性】
技术研发人员:柴振,蒙峻,杨建成,焦纪强,谢文君,魏宁斐,朱小荣,马向利,罗成,万亚鹏,
申请(专利权)人:中国科学院近代物理研究所,
类型:发明
国别省市:
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